半導(dǎo)體行業(yè)SEMI F47測試

                                                                                                —IT7800如何輕松編輯電壓瞬降波形

    相信大家都有所了解，半導(dǎo)體制造廠商對供電有著極高的要求，特 別是對于電力供應(yīng)品質(zhì)要求更高的晶圓相關(guān)產(chǎn)業(yè)，一旦發(fā)生電壓瞬降， 不僅對敏感的微電腦自動控制設(shè)備造成不可預(yù)期的傷害，也會使制程中 斷，而產(chǎn)生極大的損失。為了能保護(hù)敏感的設(shè)備能夠免于電壓瞬降的危 害，SEMI F47 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體制程設(shè)備對電壓瞬降的耐受等級，要 求對通常發(fā)生在交流電網(wǎng)中的電壓驟降具有“免 疫 力”。

    何謂SEMI F47電壓瞬降測試？電壓瞬降通常是指負(fù)載端電壓值降 到額定電壓值的 90%以下，并持續(xù)0.5~60個周期，而SEMI F47是半 導(dǎo)體制程設(shè)備電壓暫降抗擾度規(guī)范。在SEMI F47-0706中，以50Hz為例，電壓為50%標(biāo)稱值時為10周、電壓為 70%標(biāo)稱值時為25周、電壓為80%標(biāo)稱值時為50周。一些晶圓廠會要求更高等級的耐受，相 較F47-0200增加電壓瞬降的耐受時間或強(qiáng)度，在電壓為0%標(biāo)稱值時 為1周，電壓為80%標(biāo)稱值時為500周。

    艾德克斯始終致力于提供以功率電子為核心的全方位專業(yè)測試測 量解決方案，全新一代交流電源產(chǎn)品系列 IT7800大功率可編程電源、IT7900/P回饋式電網(wǎng)模擬器擁有強(qiáng)大的任意波形編輯功能，除了內(nèi)置 的IEC61000-4-11/4-13/4-14/4-28 等法規(guī)波形外，還可以模擬諧波/間 諧波及各種復(fù)雜的電網(wǎng)擾動波形，是測試和實(shí)驗(yàn)室的理想選擇。

    以下是某客戶的測試需求：

SEMI F47 法規(guī)測試
三相輸出，其中一相 1 個周期 50Hz（20ms）的瞬降（0V）

解決方案：通常大家可能會想到用 List 功能來編輯此波形，這是可 以的，然而對于非整數(shù)周期，像是60Hz（16.7ms），計(jì)算每個單步的 持續(xù)時間就相對復(fù)雜。此時我們可以考慮用突波/陷波功能來輕松實(shí)現(xiàn)。

IT7800/7900/P系列電源提供突波/陷波的模擬功能，用戶可以根據(jù) 需求在輸出的波形基礎(chǔ)上加上突波/陷波來模擬電路系統(tǒng)中電壓的異常 波動，而且突波/陷波可以疊加在任意基礎(chǔ)波形上，設(shè)置如下：

實(shí)測波形如下： 可以看到 A 相跌落到 0，持續(xù)時間 1 個周期，每 5 個周期出現(xiàn)一次。

IT7900P回饋式電網(wǎng)模擬器基本特點(diǎn)
? 高功率密度，2U可達(dá)6kVA ，3U可達(dá)15kVA
? 電壓可達(dá)350 VL-N
? 高效的能量回饋
? 主從均流，并機(jī)可達(dá)960kVA *1
? 內(nèi)建豐富的波形數(shù)據(jù)庫
? 支持單相/三相/反相/反相模式下電壓可擴(kuò)展至200%額定電壓
? 支持NORMAL/LIST/SWEEP，任意一種模式均可以疊加Surge&Sag功能
? 觸摸屏設(shè)計(jì)，簡潔的UI界面
? 相位角0~360°可設(shè)
? 高達(dá)50次的諧波模擬和分析功能，內(nèi)置IEC61000-3-2/3-12等測試法規(guī) *2
? 可模擬任意波形輸出，支持CSV文件導(dǎo)入波形
? 選配電流源選件 *3
? 內(nèi)置USB/CAN/LAN/數(shù)字IO，選配GPIB/模擬量&RS232接口
? 多種保護(hù)功能，包括自動清保護(hù)、瞬時過電壓保護(hù)POVP、軟件看門狗等

IT7900P回饋式電網(wǎng)模擬器源特點(diǎn)
? 全四象限回饋式電網(wǎng)模擬器
? 輸出頻率：16~2400Hz *4
? 功率放大器，適用于功率硬件在環(huán)（PHiL）測試
? 專業(yè)孤島測試模式，支持R/L/C及有功、無功功率設(shè)定
? 可實(shí)現(xiàn)AC/DC/AC+DC/DC+AC四種輸出模式
? 多通道功能，單機(jī)可同時測試1~3個待測物 *5
? 可編程輸出阻抗，模擬電力線路阻抗
? 諧波/間諧波波形合成
? 鎖頻和鎖相功能，實(shí)現(xiàn)6相/12相電源輸出
? 滿足低電壓穿越，相位跳變，頻率變動、諧波注入等并網(wǎng)法規(guī)測試
? 內(nèi)置IEC61000-4-11/4-13/4-14/4-28等法規(guī)波形測試
? 提供豐富的觸發(fā)配置，同步捕獲待測物電壓波形，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的采集與仿真功能
? 選配專業(yè)軟件，配合多國**法規(guī)測試條件設(shè)立程序，可完成民用航空電子及IEC相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的測試 *3

IT7900P回饋式電網(wǎng)模擬器載特點(diǎn)
? 全四象限回饋式交/直流電子負(fù)載
? 輸出頻率：16-500Hz
? AC模式下支持CC/CP/CR/CS/CC+CR/CE多種工作模式，
? CE模式可以模擬單相整流RLC和并聯(lián)RLC等多種電路拓?fù)?/span>
? DC模式下支持CC/CR/CP/CV等9種工作模式
? AC模式下支持整流和非整流兩種模式
? 可調(diào)節(jié)波峰因數(shù)：1.414 ~ 5.0
? 支持相移功能，范圍為-180o~180.0o *6
? 單位功率因數(shù)1功能可以使電流波形隨電壓波形變化，功率因數(shù)盡可能接近為1
? 支持抽載與卸除角度控制，0-359°全范圍都可設(shè)定

*1 1U/2U*多可并16臺，3U機(jī)型*多可并64臺
*2 電壓/電流諧波分析，源模式下電壓諧波模擬，載模式下電流諧波模擬，基波≤60Hz
*3 即將發(fā)布
*4 電網(wǎng)模擬器和孤島模擬模式下，16~150Hz
*5 單相機(jī)型不具備多通道功能
*6 開啟整流功能后，相移的設(shè)置范圍受峰值因數(shù)的約束
*7 1U/2U機(jī)型即將發(fā)布